湿式電気集塵機　高性能・省エネ型　

PR集塵極へのダストの付着・堆積が少ないダスト・ミスト処理設備

当社では、高電圧でダスト・ミストの除去率が高く、ヒュームなどの 超微粒子の除去も容易にできる湿式電気集塵機を提供しております。 角筒型のため、堅固で長年使用してもほとんど変形せず、初期の性能を 長期間維持することが可能。 また、広極間なので集塵極にダストが付着・堆積した場合でも電圧低下が 少なく、性能が低下しません。 【特長】 ■集塵極間が広い ■定電圧制御方式を採用 ...

メーカー・取り扱い企業： 住友金属鉱山エンジニアリング株式会社

《新型》UDSスピン枚葉装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…

■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■1-チャンバーで「薬液⇒リンス⇒乾燥」のフルプロセスを、Dry-In/Dry-Outで対応 　◎従来方式：2-チャンバー構成（チャンバー間移送時に基板は薬液付着状態） 　◎新方式：UDS式では1-チャンバー構成。 ■基板の基本動作 　◎「上段部…基板のLD」⇒「下段部…ケミカル処理」⇒ 　　　　　　　　　　　　⇒「中段部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング