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高純度・清浄な状態で圧縮が可能!リークがないダイヤフラムコンプレッサ
■アンモニア、ホスフィン ■三フッ化ホウ素、フッ素ガス、フッ化水素酸 ■塩酸(ドライ)、塩素(ドライ)、硫化水素 ■六フッ化硫黄、モノシラン、テトラフルオロシラン ■天然ガス、メタン、メタノール、エチレン、エタン ■ヘキサン、プロパン、プロピレン、シクロヘキサン ■塩化ビニリデン、トリフルオロメタン、ハイドロカーボン ■ヘリウム、アルゴン、クリプトン、キセノン、ネオン ■その他...
メーカー・取り扱い企業: 三國機械工業株式会社
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