【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

成膜システム

高生産性の成膜システムを提供しております

品に応用されています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【取扱製品】 ■建材ガラスの大面積成膜用システム「GC330H」 ■太陽電池のガラス成膜のための生産性の高いモジュール式装置「XENIA」 ■太陽光発電分野向けの成膜シリコンウェハ用 　モジュール式システムプラットフォーム「XEA|nova(R)」　他 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社