微小線幅測定システム『VP-5LW』

簡単操作、高精度AF機能を標準搭載！微小線幅を3σ=10nmの繰り返し…

『VP-5LW』は、Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、 計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型微小線幅測定器です。 半導体ウェハー、液晶カラーレジストなどの微小線幅を3σ=10nmの 繰り返し精度で測定。(対物レンズ100倍時) 線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定ができ、傾いている線も検出した線に 対して垂直に測定が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フローベル