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水晶、石英、ガラス、シリコン等ウエーハの平行度を必要とするラッピング・…
小型3Bから中型6B、9Bまで、水晶、石英、シリコン等ウエーハの平行度を必要とするラッピング・ポリッシングに最適な装置です...【特徴】 ○ワークは四方向に運動(4WAY方式のみ) ○高精度な平行度・平面度の管理・維持が可能 ○ワークキャリアに対する負担が少なく、中心ギア、インターナルギアの磨耗を軽減するため、極薄物の加工に最適 ●詳しくはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: テクノライズ株式会社
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