蒸着モニター / コントローラー （膜厚計）

精密で安定な蒸着をお手伝いいたします

最新テクノロジーによる水晶膜厚モニタをベースに、レートや膜厚の監視、コントロール、蒸着シーケンスの制御を行います。高分解能で高速な計測による精密で安定な蒸着が可能です。拡張性、汎用性に優れた設計で、様々な用途に対応可能です。...・マルチセンサー機能/標準で２センサの同時計測が可能、8センサまで拡張できます。複数のセンサは水晶寿命時の自動切り替えのバックアップ用として使用したり、複数の位置のレート...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社