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全自動装置 BATCHSPRAY Clean Autoload
BATCHSPRAY技術に100%フォーカス!水・排気・化学品を大幅に…
この4チャンバーシステムは、使用時点での混合化学物質を特許取得済みのリテーナーコーム処理システムと組み合わせて優れたプロセス結果を実現することを特徴としています。過酸化物や硫酸の代わりにSicOzoneを使用して洗浄やレジストストリッピングのようなサステナブルなプロセスを...
メーカー・取り扱い企業: Siconnex Japan合同会社
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