非接触アブソリュートリニアスケール

液晶太陽電池製造装置に。真空でも使用可能+高精度

自の磁歪技術と回路技術により、位置・速度が検出できる、アブソリュートリニアスケールです。非接触式で、過酷な産業環境下での耐久性に強く、高精度な直線変位計測が行えます。従来式のポテンショメータ、リニアエンコーダ、ロータリーエンコーダ、グラススケール、マグネットスケール、スチールテープ式に代わる画期的なセンサです。SSI出力に、0.5μmの分解能＋直線性補正（オプション）で、より高精度を実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics