スリム型100nm分解能ステージ（40mm）

エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ

自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化 ...型式：FS-1040X(S) 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±20...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社