【空冷式】高性能シリーズ 空冷リモートコンデンサータイプ

PRヒートショック試験装置の排熱や、冷却水トラブルでお困りではありませんか…

[こんな事でお悩みはありませんか？] ■装置の排熱で設置環境の室内温度が上昇してしまう。 ■装置を導入したいが冷却水設備が無く、イニシャルコストが高く導入できない。 ■冷却水設備のメンテナンスコスト低減や水質管理の手間を省きたい。 ■冷却水の水質に問題がありトラブルが多発し、稼働率が低下している。 日立なら空冷リモートコンデンサー（室外機）を外に設置する事で ・冷却水設備が不要！ ...

メーカー・取り扱い企業： 日立グローバルライフソリューションズ株式会社

高レート イオンビーム・スパッタ高速成膜装置（HR-PVD）

誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜

従前のマグネトロンスパッタでは成膜レートが低くなるAl2O3、SiO2などの誘電体、 Feなどの強磁性体の成膜で力を発揮する高速イオンビームスパッタ（IBD)装置です。　 ヘリコンプラズマソースをイオン源とし、そこから得られた高密度なイオンをターゲットへのバイアス電圧印加によって加速させる画期的な方法により、高レートかつ直進性の高い成膜を実現します。 ターゲット面全体を高効率で利用するため、貴重・...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社