シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

ニーズに合わせた好適なカスタム装置を提供！プロセス最適化に向けた設計が…

ンプルな処理構造で好適なプロセスを実現する シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置です。 メンテナンス性を考慮した部品配置。洗浄装置は各ユニットが モジュール化されています。 「ワイヤーソー後洗浄」「ラップ後洗浄」「アルカリエッチング洗浄」など 様々なプロセスに対応しています。 【特長】 ■高いプロセス性能 ■ハイスループット ■メンテナンス性の向上 ■装置設計 ...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社