研磨装置　超高精度両面研磨装置　Extシリーズ

両面研磨装置の常識を打ち破る超極薄加工、高精度・高品質な平行度、平坦度…

従来の両面加工装置と違い上下定盤の駆動は独立駆動方式を採用し上定盤はジャイロ機構により常に水平で昇降します。 また、合成石英ガラスφ140x6tを研磨加工した平坦度データとなります。平坦度はPV値で50nmを実現しています。 ...【特徴】 〇4軸独立サーボ駆動制御を採用し、上下定盤の加工時の振動を減少 〇上定盤吊位置を下定盤面との接する位置とし上定盤回転時の仰角がなく盤間の平行を保持 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティーエスシー