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PR約100ページの大ボリューム。化学・製鉄・製紙・食品など多業界で活躍す…
粉粒体の定量供給機をはじめ、排出機、計量機、周辺機器などをまとめた 約100ページの『総合カタログ(供給機選定表付き)』を進呈中です。 脈動のない高精度の連続供給を実現した製品や、 製品の形状変化を防ぎながら定量供給が可能な製品、 貯留サイロ1基から多方向へ供給できる製品など 多彩な製品の特長を詳しくご紹介。 供給・計量・制御が1台で完結するロードセル内蔵型の 連続計量供給機...
メーカー・取り扱い企業: グローバルマテリアルズエンジニアリング株式会社(旧大盛工業株式会社)
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特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・汚染物を同…
大成技研の『サン・オイルクリーナー』は、半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにしており、油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸を中和、ゴミやパーティクル・水分を除去し循環させることで常にオイルをクリーンに保ちます。 特に連続運転され毎月のようにオイル交換をしている油回転真空ポンプでは劇的...
メーカー・取り扱い企業: 高津伝動精機株式会社
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CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット)
熱CVD装置の排気に実績多数。Cl系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ(水封式真空ポンプとメカニカルブースタ)をユニット化。 CVD装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱CVD装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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真空ポンプの運用コストを削減『サン・オイルクリーナー』:大成技研
大成技研の特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・…
半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにした、油回転真空ポンプ用オイルの浄化装置です。 油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸をパーティクル中和、ゴミやパーティクル・水分を除去し、常にオイルをクリーンに保ちます。 特に連続運転され毎月のようにオイル交換をしている油回転真空ポンプでは劇的に...
メーカー・取り扱い企業: 高津伝動精機株式会社
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