実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応…

当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能 ■幅広い温度の工程に対応可能 ■エッチングの速度と均一性を精密制御 ■BOSOH工程に対応可能 【成膜機種（一例）】 Shale Cシリーズ： ■IC...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

ふっ素樹脂熱交換器　フロロエックス（潤工社製）

いろんな溶液を温めたり・保温するのに最適！テフロン製の熱交換器ならそん…

１、ふっ素樹脂PFAを伝熱管に使用、高温時の環境ストレスクラッキングや耐熱衝撃性に優れています。またフレキシビリティがあるためガラスやグラファイトのように熱や機械的衝撃で割れることがありません。 ２、有害な物質の溶出が無く、プロセス液を汚染しません。半導体やプリント基板などの高い純度を要求される用途に最適 ３、ほとんどの化学薬品に耐えられます ４、非粘着性でスケールやスラッジが付きにくく、た...

メーカー・取り扱い企業： 関西理工株式会社

実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対…

・ドライエッチング機種 Pishowシリーズ： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能 ・成膜機種 Shale Cシリーズ： ICP CVD（誘導結合プラズマCVD） 低温条件（<120℃）で緻密な成膜を実現可能 プラズマによる損傷を低減でき、漏れ電流を抑える ...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社