低温バレル型ALD成膜装置　CVA-B series

低温ALD装置とバレル機構の融合

【コーティング活用例】 　磁性粉体（サマリウムコバルト系、鉄ネオジム系、フェライト等）への保護膜形成 　　・保磁力、分散性の向上 　　・参加劣化防止 　　・帯電防止 　全個体電池（結晶、ガラス、ガラスセラミックス） 　　・硫黄と水分の反応性での有毒ガス発生の課題解決 　　・低い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス