半導体業界のCMP工程および研削工程の制御

「CHRocodile 2 ITセンサー」は、ワーク処理中にウエハーの…

半導体業界では、CMPや機械研削など、複数の製造段階でウエハーの 物理的な厚さを測定する必要があります。 工程全体をモニターし、最適化するには厚さを把握しておく事が重要ですが、 現在この作業には主に機械的な接触式プローブが使用されています。 このプローブには、ウエハーとの接触、表面の損傷、厚さ測定にチャック テーブルからの参照値が必要という大きなデメリットがあり、損耗もするので ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

光学式エリアスキャナFlying Spot Scanner310

12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響…

Flying Spot Scanner310』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲（～φ310)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表面の欠陥検査ができます。また、入射・反射が同軸光学系のため、光沢面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 　■広範囲のエリアスキャン φ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」

振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管…

『Flying Spot Scanner』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲（～φ80)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表面の欠陥検査ができます。また、入射・反射が同軸光学系のため、光沢面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 　■広範囲のエリアスキャン ~φ8...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社