【適用事例】半導体製造装置　金属セラミックス複合材料『MMC』

PR複合材料MMCの接合技術により、新たな用途への展開が可能になりました。

MMC同士を接合することで中空構造体の製造が可能になりました。接合技術で形成された内部流路に冷媒やガスを流すことが可能です。高熱伝導、低熱膨張を特長とするMMCは、温度による熱変形が少なく、組み込まれる部品への悪影響を防ぎます。 ＜冷却ジャケットへの適用＞ アルミナESCとの熱膨張差低減によるアーキング防止、高熱伝導、低熱膨張によるエッチングレート向上 ＜ウエハチャックへの適用＞ ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

LNG液化装置『StirLNG-4』＜スプレー・追加冷却方式＞

PR長年にわたり、ガス液化装置の設計と製造を行うStirling Cryo…

『StirLNG-4』は、電動モーターと独自の制御ユニットにより、 独立して動作する極低温液化装置です。 LNGは、その貯蔵タンクの底部から取り出され、追加冷却後に 貯蔵タンク内に噴霧して戻すことでシステム全体のガス圧力を下げつつ BOGを除去。 LNGまたはBOGの組成は、当製品の冷却能力に影響しません。 【特長】 ■パイプラインやバイオガスなどの精製ガス源からの液化天...

メーカー・取り扱い企業： 中西商事株式会社 東京営業所

【導入事例】熱処理炉内雰囲気、または排気ガス含有の露点測定

炉内雰囲気を特殊な状態にするために内部雰囲気を抜き取り常時監視した事例…

る製品は、内部雰囲気の成分や水分量の差が生じると品質に 重大な影響が生じる恐れがあるため、内部雰囲気を抜き取り常時監視します。 内部雰囲気が200℃を大きく超える高温の場合は、サンプル配管に冷却効果を もたらす部品を装着し、測定に好適な状態へ適宜調節して測定することもできます。 また、燃焼行程後の排気ガスにおいて含有水分量が製造品の品質に関連する 例もあり、その場合は排気ガスの露...

メーカー・取り扱い企業： 日本冶金化学工業株式会社

【導入事例】天然ガスや天然ガスタンク内雰囲気の露点測定

内部の露点温度を測定し、その数値の推移にて置換状況の確認に使用した事例…

【露点計特長】 ■ガスおよびドライエア中の微量な水分を測定 ■品質管理の基準として使用 ■「防爆型」「鏡面冷却型」「オンライン型」「ポータブル型」をラインアップ ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本冶金化学工業株式会社

【導入事例】ドライエア（ドライルーム内）の露点測定

供給元であるエアドライヤにセンサーを設置して露点温度を常時監視した事例…

【露点計特長】 ■ガスおよびドライエア中の微量な水分を測定 ■品質管理の基準として使用 ■「防爆型」「鏡面冷却型」「オンライン型」「ポータブル型」をラインアップ ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本冶金化学工業株式会社

【導入事例】産業用ガス製造ライン（空気分離装置等）の露点温度管理

製造ラインから供給されてくる産業用ガスの露点温度を常時測定した事例の紹…

【露点計特長】 ■ガスおよびドライエア中の微量な水分を測定 ■品質管理の基準として使用 ■「防爆型」「鏡面冷却型」「オンライン型」「ポータブル型」をラインアップ ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本冶金化学工業株式会社

【導入事例】ボンベ内ガスの露点測定

N2、O2、Ar、H2、He、SF6、などの露点測定を行った事例の紹介

【露点計特長】 ■ガスおよびドライエア中の微量な水分を測定 ■品質管理の基準として使用 ■「防爆型」「鏡面冷却型」「オンライン型」「ポータブル型」をラインアップ ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本冶金化学工業株式会社

【導入事例】半導体製造装置（グローブBOX）の露点測定

装置内雰囲気や装置に供給するガスの露点測定に使用した事例の紹介！

【露点計特長】 ■ガスおよびドライエア中の微量な水分を測定 ■品質管理の基準として使用 ■「防爆型」「鏡面冷却型」「オンライン型」「ポータブル型」をラインアップ ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本冶金化学工業株式会社