『無応力コート』

優れた耐候性能！片面の多層膜コートでもソリが発生しにくい成膜方法を実現

【外観・生産能力】 ■分光特性：面内ムラ5nm以内、ドーム内ムラ5nm以内 ■外観：Φ200ウエハーにて点欠陥30μm以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 京浜光膜工業株式会社