半導体電気特性評価テラヘルツ分光装置・テラヘルツエリプソメーター

複素誘電率（複素屈折率）の周波数依存性を計測可能な唯一の装置です。

電場強度と共に位相情報も同時計測が可能。...テラヘルツエリプソメーターとは、光と電磁波の強化周波数である1THz,波長300μm前後の帯域で従来赤外線やミリ波と呼ばれ、この波長域の入射による反射楕円偏光の解析で、半導体の様々な電気的特性を算出する装置です。テラヘルツ波は透過性と物質の同定能力を備え、電波より短波長で微小観察に最適です。低エネルギーですので分子間の結合状態の観察にも応用可能です。西...

メーカー・取り扱い企業： 西華デジタルイメージ株式会社