【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

最新　実用真空技術総覧

旧版より30年間の進展を凝縮し、基礎から応用・実用までを網羅。 現場…

『最新　実用真空技術総覧』 発刊：2019年2月 定価：本体58,000円＋税 体裁：B5判1096頁 発行：(株)エヌ・ティー・エス ISBN 978-4-86043-559-2 C3043 編集　　　　最新　実用真空技術総覧　編集委員会 編集委員長　笠井 秀明（明石工業高等専門学校長／大阪大学 名誉教授） 執筆者　　　計157名 ...■目次 第１部　真空工学の基礎 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス

【技術情報】到達真空度

極低圧における吸着等温線測定精度が高まり、マイクロ孔解析の信頼性が高ま…

マイクロ孔の解析や表面分析において、超高真空下での吸着等温線測定の 重要性が高くなっています。 現在、ターボ分子ポンプに代表されるように、クリーンな真空を得ることは 技術的に可能ですが、定容量法ガス吸着装置は複数のバルブと配管・ ジョイントを有する為、サンプル部を高真空に到達することは困難です。 図は...

メーカー・取り扱い企業： マイクロトラック・ベル株式会社