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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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ります。 【業務内容】 ■中古機器販売 ・取扱い機器:半導体・FPD関連機器、クリーンルーム関連機器、 理化学機器および一般産業機器など ■真空ポンプのオーバーホール ・ターボ分子ポンプ(小型)、ドライポンプ、クライオポンプなど ■露光装置修理、整備、販売 ・キャノン製PLAシリーズの中古機販売他、修理、整備、改造、移設サービス ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...
メーカー・取り扱い企業: アイアールシー株式会社
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