【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

中空型 回転導入機

ウォームギアを使用することでスムーズに位置決めが可能！中空構造の回転導…

けができます。 【特長】 ■クライオスタット、液体窒素シュラウド等を超高真空内に挿入して 　回転させることが可能 ■手動式高精度型及びモーター駆動式高精度型の2種類 ■補助用ターボ分子ポンプで差動排気（ICF-34接続）を行うことにより、 　超高真空装置での使用が可能 ■トルクにこだわり、負荷なくスムーズに回転を行なうことが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社