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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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ファイファー社製新型コントローラです。 1~2ch の真空計と真空ポ…
動可能です。 ●ピラニゲージ ●コールドカソードゲージ ●フルレンジCCゲージ ●フルレンジBAゲージ ●キャパシタンスゲージ 下記真空ポンプが起動可能です。 ●ターボ分子ポンプ ●スクロールポンプ ●ダイアフラムポンプ ●ルーツポンプ...
メーカー・取り扱い企業: 丸菱実業株式会社
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