リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

流量の”自動調節”お任せください！温度、圧力制御も簡単に実現！

IoTが注目され、各種プロセスのセンシングが進んでおります。 これを…

Industry4.0で注目され、また高い生産性を実現するドイツ製造業。 ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトも、最新技術とこれまでの知見を活かすことで、お客様の実現したい制御を”簡単＆明解”に実現します！ 老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトでは、調量弁に自動制御機能を内...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

最大1.0MPa(10bar)でも制御可能マスフローコントローラ

最大差圧1.0MPa（10bar）でも制御可能、一台で1.6-80L/…

高差圧でもレンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.3秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラで簡単・確実に！

ビュルケルトのマスフローコントローラは小～大流量を1台で簡単に制御でき…

気体（ガス）の流量制御はマスフローコントローラ（MFC）がおすすめです！ Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応した”簡単にお使い頂ける...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

”蒸気”、”水素”、”液体”と幅広い流体対応のコントロールバルブ

老舗専門メーカーのノウハウで、従来の微小制御や高速制御から最近話題とな…

Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトでは、微小流量制御、高速制御、センサと調量弁を一体として考えたシステム提案、IoT対応システム等、お客様の直面する様々な問題に対して柔軟にお手伝いいたします！ 【Io...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

IoTコントロールバルブ(調節弁) 防爆・空圧・電動　各種

IoTが注目される昨今、製造業においては予防保全へ向けた動きが活発です…

欧州版IoT、Industry4.0で注目され、従来より高い生産性を実現するドイツ製造業。 ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトも、最新技術とこれまでの知見を活かすことで、お客様の実現したい制御を実現します！ ビュルケルトでは、新規ラインや装置だけでなく従来の工場や納品済みの装置をIoT対応に...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

省エネ & IO-Link対応コントロール弁(調節弁)

温室効果ガス削減へ向け、省エネが注目される昨今、それらを加速させるため…

欧州版IoT、Industry4.0で注目され、従来より高い生産性を実現するドイツ製造業。 ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトが、高い技術力とこれまでの知見を活かすことで、お客様の実現したい制御を実現します！ その中でも今回注目したのは省エネ。ビュルケルトのコントロール弁は、開度保持にブリー...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

CANopenに対応したマスフローコントローラType874X

従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応…

【特長】 ◆測定ガスや流量、使用圧力をあらかじめお伺いし、実ガス校正を行 　ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありませ 　ん。 ◆設置後すぐにガスの制御・流量測定が可能 ◆豊富なラインナップからお客様のアプリケーション・ご使用条件に 　応じて最適なご提案を致します。 ◆CANopen対応 ◆保護等級IP65...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

大流量2,500L、高圧1.0MPaのマスフロー(MFC)

装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントロ…

」、「減圧せずに流したい」、などのさまざまご要望があることを、近年の活動で知り得ました。 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●大流量　　→　～2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●高圧仕様　→　～1.0MPaまで対応 また ●低差圧仕様　→　5KPaから対応 ●タイトシャット可能　→　別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ●応答速度　　　　　　→　300mse...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

液体、気体を微小量から自在に制御！問題解決もお任せください！

老舗専門メーカーのノウハウで、従来の微小制御や高速制御から最近話題とな…

Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトでは、微小流量制御、高速制御、センサと調量弁を一体として考えたシステム提案、IoT対応システム等、お客様の直面する様々な問題に対して柔軟にお手伝いいたします！ 【Io...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

最大1.0MPa(10bar)でも制御可能マスフローコントローラ

最大差圧1.0MPa（10bar）でも制御可能、一台で30-1500L…

高差圧でもレンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

少量から大流量を１台で制御可能なマスフローコントローラ

1台で30-1500L/minを制御できる気体向けマスフローコントロー…

レンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

低コスト化も実現可能！IoT時代のマスフローコントローラ

小～大流量を1台で制御！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)にも対…

Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です！ 【1台で何役もこなします！】 ●小流量から大流量まで（例えば20～1500Nl/min(N2)）を一...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

IoTコントロールバルブ(調節弁) 防爆・空圧・電動　各種

IoTが注目される昨今、製造業においては予防保全へ向けた動きが活発です…

欧州版IoT、Industry4.0で注目され、従来より高い生産性を実現するドイツ製造業。 ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトも、最新技術とこれまでの知見を活かすことで、お客様の実現したい制御を実現します！ ビュルケルトでは、新規ラインや装置だけでなく従来の工場や納品済みの装置をIoT対応に...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

省エネ型コントロール弁(調節弁) 防爆・空圧 各種

温室効果ガス削減へ向け、省エネが注目される昨今、それらを加速させるため…

欧州版IoT、Industry4.0で注目され、従来より高い生産性を実現するドイツ製造業。 ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトが、高い技術力とこれまでの知見を活かすことで、お客様の実現したい制御を実現します！ その中でも今回は省エネに注目いたしました。ビュルケルトのコントロール弁は、開度保持...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type8711マスフローコントローラ

素早く設定流量に安定させる、気体用マスフローコントローラです。

高速応答（最速0.3秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。 本製品Type8711は、最小20cc/minから制御可能な、微少流量用のマスフローコントローラです。...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type8626マスフローコントローラ

素早く設定流量に安定させる、気体用マスフローコントローラです。

高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。 本製品Type8626は、最大1500L/minまで制御可能な、大流量用のマスフローコントローラです。...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。流量…

クを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●レンジアビリティ　→　1:100の高精度 ●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転　→　1分でＯＫ ●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNe...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

設定流量の変更時、0.3秒以内の高速応答が可能です。 圧力レンジも広…

応答速度以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●高圧対応　→　～1.0 MPa ●最低必要差圧　→　10kPaでＯＫ ●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転　→　1分でＯＫ ●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNe...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社