リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

直動システム｜ラック＆ピニオン直動システム

ボールねじ搬送のたわみ・速度制限・大口径化・モータ大型化の悩みを解決！…

展示館で開催される 「MEX金沢2024（第60回機械工業見本市金沢）」に出展致します。 ■出展見どころ：「ラックアンドピニオン直動システムのヘリカルによる小型化＆プログラムレスでモーション制御」 また、5/17（金）は、同会場で行われるセミナーに登壇致します。 【演題】 ラックアンドピニオン直動システムのヘリカルによる小型化＆プログラムレスでモーション制御 【講師】 ...

メーカー・取り扱い企業： ストーバー・ジャパン株式会社

ギヤードモータ｜遊星歯車サーボギヤードモータ（同軸）

高精度な位置決め・速度制御も可能、新世代のサーボギヤードモータは、この…

高性能な遊星歯車減速機構とサーボモータの組み合わせで高精度なモーション制御が可能 ◇ 減速機+サーボモータよりもコンパクト ◇ サーボモータの取付工数の削減 ◇ EtherCAT・PROFINET制御だけでなく、プログラムレスでのモーション制御も可能 旧来モデ...

メーカー・取り扱い企業： ストーバー・ジャパン株式会社