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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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コリオリ式マスフローコントローラ/メータ Quantimシリーズ
PRコリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準!幅広い流量レンジで液体・ガス…
『Quantimシリーズ』は、微小流量のガス/流体測定や制御において、高い 精度とゼロ安定性を実現するコリオリ式マスフローコントローラ/メータです。 特許取得済みのコリオリ式センサは、流体のタイプやプロセス変動に関係なく、 低流量の測定が可能。 その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供しま...
メーカー・取り扱い企業: ITWジャパン株式会社
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高効率、小型軽量 DCブラシレス高圧ブロア
DC(直流)ブラシレスモーターを採用しており、AC(交流)モーターを使った既存の高圧ブロワに比べて、1.高効率、2.小型・軽量、3.ハイパワー(高回転)、4.省エネルギーが特長です。 また、5.電源制御部分とブロワ部分を分離したため 自由なレイアウトが可能など、既存製品にはなかった特質が好評をいただいております。 ワールドワイド入力電源対応モデルは、国内のみならず海外でも使用したいというニーズに...
メーカー・取り扱い企業: 三友電子工業株式会社
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テンテキャスター株式会社