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工業用薬品を精製し特殊グレードに超高純度化!海外輸入品原料の高純度化/…
当社で行う、「受託製造」についてご紹介いたします。 副生成物(廃棄処理していた)を純度を上げて製品化。 蒸留困難な高沸点物(~350℃)、高融点物(~120℃)の精製が可能です。 その他、着色原料、着臭原料の脱色/脱臭蒸留や蒸留困難な沸点の近い ...
メーカー・取り扱い企業: ネオケミカル株式会社 本社
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【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜
Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…
半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します...
メーカー・取り扱い企業: つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー
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