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信頼性の高いターボ分子ポンプTG-Fシリーズを搭載した排気システム
ボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する 加速器の真空排気系に信頼性の高いターボ分子ポンプ「TG-Fシリーズ」を 搭載した排気システムが採用されています。 また、医療用加速器向けの排気ユニットと同様設計の標準排気ユニット、 STシリー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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