反転移載機（WRM-02型）

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。 ・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。 ・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。 ...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

テーピングマシン

６、８、１２、インチ対応。専用トレイからのテーピングも有ります。 テ…

ーニング機構、ピックアップ部は、シングルヘッド仕様（６，８インチ）ダブルヘッド仕様（１２インチ）機構。製品をウェハーからエンボステープ、ウェハーから専用トレイに収納。製品を表裏どちらでも挿入可能な反転機構。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社システムエンジニアリング