真空シール『マルチプロセスフェローシール』

真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構のフェローシール

『マルチプロセスフェローシール』は、現在のさまざまな半導体プロセスにおける 真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構と同時に リニアモーション対応もご用意できます。 更には10⁻⁶Paの超高真空プロセスにも対応可能な製品もご用意しております。 【特長】 [同軸2軸タイプ] ■高い振れ、回転精度を実現する小型軽量のコンパクトタイプ [3軸タイプ] ■高い振れ、回転精...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス