組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』

PRギャップフィラーや放熱性グリスなど半固形状の高粘度材料を送液可能！ペー…

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』は、 ペール缶から直接、材料を吐出できる材料圧送ポンプです。 サーボ駆動により、高精度の吐出を実現しており、 季節に合わせて吐出量を調整するといった手間も減らせます。 放熱ギャップフィラーや放熱性グリスなどの半固形状の高粘度材料などのスムーズな送液が可能になり、 塗布作業などの高品質化・作業効率向上などにつながります。 ...

メーカー・取り扱い企業： トミタエンジニアリング株式会社

【脈動低減効果】フローコントロールバルブ　流量調整弁

逆止弁と絞り弁（オリフィス）を1つに組み合わせた流量制御弁。ポンプの脈…

信頼性の高い長期にわたる一貫した性能の維持の為、各バルブは100％動作試験を行っております。Leeフローコントロール弁は取付けに、挿入部マニフォールドのねじ切り加工やＯリング等のシール材等の特別な設計を必要としません。マニフォールドブロックにドリル加工で開けた穴にバルブを挿入し、バルブに予め挿入されている拡張ピンをバルブ本体に打ち込むことによってマニフォールド挿入穴に密着して固定され、同時にシール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュピターコーポレーション 本社