積層薄膜作製装置

多層塗りによる厚膜の作製！スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置

3インチ（2インチ、20mm角はチャック部アタッチメントで対応） ■スピンコータ回転数：0 ～ 5000rpm（±1rpm） ■焼結温度：～800℃（均熱領域50mm） ■基板冷却：乾燥窒素吹付け ■ロボット停止精度：±50μm ■ディスペンサー：エアーパルス方式、滴下量0.05ml以上 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック