表面洗浄ジェットクリーナー

1ミクロン未満の微粒子・煤塵を吹飛ばす、表面洗浄ジェットクリーナー

ジェットクリーナーは、高圧の二酸化炭素を噴出し、1ミクロン未満の微粒子・煤塵を吹き飛ばします。 高圧の二酸化炭素が、空気中でドライアイス粒子になり、半導体ウェハ（Si、InP、GaAs）、イメージセンサー、薄膜、光学レンズ、ディスク、ガラス...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社たきぶん