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ハイブリッド・アクチュエータ『HySerpack』※技術資料進呈
PRサーボモータで油圧ポンプを回転させ、油圧ポンプ吐出方向を制御。制御弁、…
当社が開発したハイブリッド・アクチュエータ『HySerpack』は、 制御弁がいらず、推力やロッド位置の制御を高精度で行えます。 サーボモータで油圧ポンプを回転させ、サーボモータの正逆回転によって 油圧ポンプの吐出方向を制御。方向制御弁がいらず、回転速度の制御で、 作業油の吐出量もコントロールできるため、油量制御もいりません。 電動アクチュエータの特長と、油圧シリンダの高剛性を兼ね備...
メーカー・取り扱い企業: 第一電気株式会社
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PR今まで取付が難しかった曲面や狭所への設置ができます!ISOに準拠してい…
【特長】 ・薄くて軽い ・ISOに準拠しているから、判断基準が明確 ・バッテリー内蔵&無線通信機能付きで、カンタンに設置・回収 ※開発製品のため仕様が変更になることがあります。 ...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: パイクリスタル株式会社
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mini CORI-FLOW 液体分給システム ポンプシステム
マスフロー制御ポンプ採用!調節弁制御に代わる制御方式の液体分給システム
「mini CORI-FLOW(R) 液体分給システム(ポンプシステム)」はコリオリ式フローメータ、ギアポンプ、フィルター、チェック弁とそれらを結合する配管から構成されています。 電気的、メカニカル的に全て結合され、PIDコントローラの最適化、総合テストを経て供給されます。 ポンプは極小流量から比較的大流量、高圧、ワイド制御レンジ、過激な流体用シリーズが揃っています。 アナログモードでの運転...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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mini CORI-FLOWの適用(ポンプシステム 事例1)
【ポンプシステム 事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー
蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体(ガス、液体を問わず)を正確に制御されなければなりません。 「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。 “マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。 この計器はレンジ変更が簡単であり、従ってコストオブオーナシップを提供い...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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精密に制御かつ高再現が実現できる!TiCl4の流量をコントロールできる…
『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウ...
メーカー・取り扱い企業: ブロンコスト・ジャパン株式会社
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