第三の光加熱源！LEDアニール装置

PR加熱効率向上で省エネルギー化！高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

【その他資料】無料：製造業技術者の暗黙知・属人化を解消する方法

PR作業者解析AIでDX化：作業工程を見える化し、『暗黙知』を『形式知』に…

製造業や物流業のミスの多い作業、時間のかかる作業を明確にし、適材適所の人材配置や教育、作業負荷の確認、作業ミスの改善を実現します。 そのため業務のDX化（デジタルトランスフォーメーション）を推進し、生産性と品質の向上を図ることができます。 人手不足や技術伝承の課題を解決するために、『作業者解析AI』を活用して、SECIモデル（社会化、外在化、連結化、内在化）をスムーズに回し、人材教育、効率的な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コーピー 本社

ウェーハ枚葉洗浄装置

高精度な回転機構

高精度な回転機構により高速で正確な処理が行えます。 ...【特長】 ○処理チャンバー構造と高精度な回転機構により大面積均一処理を実現 ○フレッシュな薬液使用により超精密洗浄が可能 ○処理薬液の回収／再使用が行え、ランニングコストの縮小に貢献 ○処理能力と装置専有床面積の両立を図ったコンパクト化を実現 ○純水／薬液などの使用量の削減に貢献 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧...

メーカー・取り扱い企業： セファテクノロジー株式会社 京都事業所