ファインセラミックス『窒化アルミ（AlN）』

熱放射に優れ、絶縁性も高い材料！熱伝導率が高いファインセラミックス！

『窒化アルミ（AlN）』は、特に高温特性に優れたセラミックスです。 熱伝導率が極めて高く、ファインセラミックスでは炭化珪素と肩を並べる 熱伝導率を誇り＝170W、線膨張係数がSiに近く耐食性にも優れている事から 半導体製造装置用部材や基板としても幅広く利用されております。 また、その熱に対する特性からヒーター用途にも適しております。 半導体後工程ボンディング用ヒーターツールと...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課