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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンツール

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ケーエスジー(春日井加工)

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    ォトマスク事業で社内コラボした製造事例です。 通常のパターニングの場合、フォトマスクを使用してパターニングを 行いますが、今回はフォトマスクを描画する為の描画装置で直接、 フォトレジストを塗布した基板に描画し感光させてパターニング。 結果、通常のパターニングでは作成不可能な「L/S=5μm」レベルの 微細パターンを作成することができました。 【事例概要】 ■L/S:5μm...

    メーカー・取り扱い企業: 東洋精密工業株式会社

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