真空計測機器　マイクロハクマク圧力センサ

『世界初』真空環境内の圧力をダイナミックに測定できる真空計です。複数設…

れぞれのプロセス・製品近傍の圧力分布、ガスの流れを動特性（ダイナミック）に計測・把握することは非常に重要です。しかし、現状は真空計の大きさ等の制約から、本来、測定したいポイントでは測定できず、装置の外壁近傍にしか設置できないため「間接的」な測定となり、設備環境はシミュレーション等の結果から求められています。マイクロハクマク圧力センサであれば、超小型・堅牢であることから、設備環境内へ設置でき、今まで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所