真空シール『マルチプロセスフェローシール』

真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構のフェローシール

『マルチプロセスフェローシール』は、現在のさまざまな半導体プロセスにおける 真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構と同時に リニアモーション対応もご用意できます。 更には10⁻⁶Paの超高真空プロセスにも対応可能な製品もご用意しております。 【特長】 [同軸2軸タイプ] ■高い振れ、回転精...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

『真空機用導入機シリーズ 総合カタログ』※無料進呈中

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…

かかわらず、ICF-70接続を実現し 高分解能で膜厚制御可能な有機蒸着セルなど、多数ラインアップしています。 【主な掲載内容】 ■1軸・直線運動（Z軸）　　■1軸・回転運動（φ軸） ■多軸・複合運動　　　　　■蒸着セル ■シャッター機構　　　　　■エントリーハッチ ■ベロージョイント　　　　■オプション ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

真空装置　真空ホットプレス　VZF

真空装置＆真空ポンプのことならお任せください！

できます。 　ワークによりガス加圧（MAX 9.8気圧）中でのホットプレスも製作致します。 ○通常加圧は片押し（上押し、下押し）ですが両押しも製作致します。 ○通常加圧は単軸形ですがツイン形、多軸形も製作致します。 ○冷却ユニットを取付けることにより処理時間を短縮できます（オプション）。 ○低圧～高圧まで圧力精度に合せて重鐘、機械式、空圧、油圧による加圧方法が選択できます。 ○広範囲な...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

真空シール組込み軸受けユニット

クリーンな高真空を実現、磁気シール組込み型、軸受けユニット

較して長寿命、低コンタミネーション 　・液体シールのため接触型よりも高速回転に強い 　・低速回転から高速回転まで対応 　・漏れなしの高信頼性 　・加圧、活性ガス雰囲気に対応 　・異心、同心多軸シールが可能 　・大伝達トルクとバッククラッシュが皆無 ...

メーカー・取り扱い企業： 理学メカトロニクス株式会社 拝島工場