ジェーイーエル　製品総合カタログ

半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。

ています。装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプを選択することができ、動作モニターを装備しています。４軸水平多関節型クリーンロボット「GCR4000-PM」はスーパークリーンルーム用の多軸タイプです。300ｍｍ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送に適しており、全軸アブソリュートエンコーダ付２相ステッピングモータを使用しています。S字加減速制御および動作軌跡最適化により、ウエ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

【受託開発事例】M8011(OEM製品)シリコンウェハー搬送装置

シリコンウェハー搬送装置の受託開発事例をご紹介！

：M8011(OEM製品)シリコンウェハー搬送装置 ■特長 ・シリコンウェハーの切り欠き部を検出し、一方に揃えカセット内に積み重ねていく装置 ・SH2マイコン＋PPMC312＋FPGAにより、多軸のACサーボ、ステッピング・モータを制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アンペール 友部事業所/産業機器部