半導体業界向け特殊セラミック部品＜カタログ無料進呈中＞

PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…

当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

表面処理：摺動性アップを実現する低温処理PVD-コーティング

PR【展示会出展】鍛造金型・プレス金型の絞り、曲げ、抜きに圧倒的な効果を発…

EV-X／FG-Xは、低温処理のPVDコーティングです。 TiAlN/TiNの皮膜をベースとしており、そこからさらに滑りや密着性を向上させた EV/FGシリーズ、EV/FGの特長に密着性と摺動性を大幅に向上させたEV-X／FG-Xと お客様のニーズやコストなどに合わせて、適切なコーティングを提供します。 摺動性・密着力の向上により、従来よりも金型のショット数を大幅に伸ばすことができます。 金型...

メーカー・取り扱い企業： 松山技研株式会社

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。 【特長】 ■最高使用温度400℃（高温用は別途ご相談） ■被加熱物との良好な密着性を確保 ■発熱線を高密度に実装し、温度均一性を向上 ■クリーンルームでの使用にも対応 ■立体形状のヒータが製作可能 ■断熱材と一体型のヒータで省エネに貢献 ■メンテナンス性を考慮した脱着...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社