工程 | イプロスものづくり

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大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。（成膜、エッチング・アッシング、アニール）カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室他） ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
2024年九州で開催される第1回半導体産業展に出展します

PR新製品の「白色・灰色ゴムコレット」様々な目的や工程に応用可能な「超音波…

有限会社オルテコーポレーションです。注目集まる九州の地において、9月25日より開催される、「第一回九州半導体産業展」に弊社ブースを出展します。近年、熊本県での半導体工場設立を背景に、日本国内での半導体製造分野への関心が再び高まっています。この機会に、ぜひイベントに足を運んでみてください。展示内容には、新製品の「白色・灰色ゴムコレット」様々な目的や工程に応用可能な「超音波洗浄機」も含む...
メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社
【分析事例】汚染原因となる工程の調査

手袋由来の汚染の評価

半導体デバイス製造において汚染工程を調べるため、不良の原因となる薄い付着物が何に起因するかを調べる必要があります。EDXでCが検出され、XPSで定量を行った付着物について、TOF-SIMSで分析を行いました。各工程で使用している標準...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】フッ素系潤滑剤・高分子の同定

汚染成分を同定し、汚染発生工程を推定

フッ素系の化合物はさまざまな種類が存在します。汚染原因調査の際、フッ素系の種類の定性を行うことで、原因となった工程を調べることが可能となります。そこで、表面敏感なTOF-SIMSを用いて水はじきのよい場所に何が付着しているか分析を行いました。各工程で使用しているフッ素系のオイルは、種類によってフラグメントパ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
前処理⾃動化システムによるPCR検査

【新型コロナウイルス】◆前処理⾃動化システムによるPCR検査◆ 20…

を目的に、衛生検査所としてPCR検査を受託しているMSTが企画・考案しました。ヤマト科学株式会社に設計・製作を委託し、株式会社デンソーウェーブ社製人協働ロボットCOBOTTAⓇを用いPCR検査前処理工程の自動化を実現しています。本システムが担う工程の品質・精度を確保するため、検査者の作業動作を解析し、クロス汚染を回避するための注意点をシステムに反映しています。加えて、二次元コードによる検体...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】めっき・塗装等の剥離原因調査

TOFーSIMSによる剥離面の汚染源の特定

ことで、剥離原因を調査することが可能です。 TOF-SIMSは有機物の構造を保ったままイオン化した二次イオンを検出し、剥離面に存在した成分が何由来なのかの情報を得ることができるため、剥離原因、及び工程の調査に有効です。測定法：TOF-SIMS・ピーリング・解体製品分野：LSI・メモリ・製造装置・部品分析目的：化学結合状態評価・故障解析・不良解析詳しくは資料をダウンロード、また...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】結晶Si太陽電池の不純物評価

金属元素および大気成分元素の極微量分析

結晶Si太陽電池の基板成長からセル形成までの各工程で必要とされている不純物量制御のための評価法として、高感度分析による元素濃度測定をご提案します。金属元素はppb以下、Hを含む大気成分元素についてはppm以下の濃度まで計測可能です。測定法：SI...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】粘着シートによる電子部品の汚染評価

有機汚染の定性・定量・分布を複数手法の組み合わせで評価

半導体デバイスの製造工程では、ダイシング用テープなど様々な粘着シートが使用されます。粘着シートは異物・汚染の原因となることがあります。そこで、本事例ではTOF-SIMS・SWA-GC/MSを用いて複合的に評価した結果を...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】緑茶中カテキンのLC/MS/MS分析

熱異性化体を含むカテキン8種類の一斉分析事例

中コレステロール低下作用等の機能が知られており、特定保健用食品（トクホ）に指定されています。天然の緑茶には4種類のカテキン（EC、EGC、ECG、EGCG）が含まれていますが、市販のお茶には加熱殺菌工程でそれぞれが熱異性化したカテキン（C、GC、CG、GCG）も多く含まれます。本資料では、市販の緑茶をLC/MS/MSで分析し、熱異性化体を含むカテキン8種の分離・定性を行った事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】TDSによる銅板・はんだの同時加熱分析

部材同士を接触させ、実プロセスに近い環境での脱ガス評価が可能

はんだを用いた金属の接合は、エレクトロニクス分野において欠かすことのできない工程のひとつです。金属とはんだが接触した状態で加熱した際の脱ガスは、ボイドの原因となることが知られています。以下に、銅板にはんだを乗せた状態でTDS分析(昇温脱離ガス分析)を行った事例を紹介しま...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機成分洗浄効果の評価

300mmウェハをそのまま測定できます

TOF-SIMSには有機物、無機物を同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できる、300mmウェハのまま評価可能という特徴があり、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Si表面の有機汚染の除去効果の分析事例をご紹介します。XPSでアミン系有機物は極微量であることが確認されている試料について、TOF-SIMS分析を行いました。微...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ウエハ表面の微小異物分析

加工無しで30nmサイズの組成分析が可能

AES分析は最表面から数nm深さまでの組成情報を得る手法であり、製造工程において表面に生じた汚染や異物の組成を調べる際に有効な分析です。基板などの母材の情報を検出することが少ないため、異物など異常箇所のみの情報を前処理加工などを行わず簡便に調べることが可能です。また面分...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】繊維の変色原因調査

繊維表面の有機・無機成分の評価が可能です

TOF-SIMSは、着目の箇所を局所的に分析し、得られる質量スペクトルにより元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできるため、各工程における異物・汚れ・変色の原因究明に非常に有効な手段です。また、イメージ分析も可能なため、有機物の分子情報の可視化も可能です。本資料では、繊維製品であるクリーンスーツの変色の解析結果をまとめま...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価

高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能

半導体の製造工程において表面改質を目的としたイオン照射を行うことがあります。その中で、単結晶 Si表面に不活性元素のイオンを照射することで構造の損傷が生じ、アモルファス層が形成されることが知られています。高分...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価

断面マッピングにより、GaNの結晶成長の様子を評価可能

窒化ガリウムGaNは、熱伝導率が大きい点や高耐圧といった特性のため、LEDやパワーデバイスなどの材料として用いられます。それら製品の製造工程では、デバイス特性に影響を与える結晶欠陥の無い、高品質なGaN結晶の作製が求められます。本資料では、c面上に形成したGaN基板（c-GaN基板）上に、c-GaN結晶を高速気相成長させたサンプルの...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】洗浄リンス液中の有機物残渣量評価

TOCやLC/MS/MSによる評価が可能です！

製造過程における有機物汚染は製品の性能に大きく影響を与えます。洗浄工程のリンス液のような液体試料中の有機物分析では、全有機体炭素（TOC）計や液体クロマトグラフ-タンデム質量分析計（LC/MS/MS）を用いた評価が可能です。ここでは、工業用界面活性剤の一つであるNPn...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】貼り合わせウエハ内部の空隙調査

超音波顕微鏡による内部空隙の観察事例

パワーデバイスやMEMSデバイスなどに用いられる、貼り合わせシリコンウエハを作成する際、貼り合わせ工程において界面に局所的に空隙が発生する事があります。 300mm貼り合わせウエハ内部を超音波顕微鏡を用いて観察しました。その結果、複数箇所にて1mm～20mm程度の複数の空隙があることを確認しました...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】粘着テープの残渣評価

TOF-SIMSにより表面付着物成分を同定します

粘着テープの残渣は、製造工程において密着不良・剥離の原因となります。不良の原因として残渣が疑われる場合、表面付着物の成分とその分布を調べることができるTOF-SIMSが有効です。粘着テープをSiウエハ表面に張り、剥がした後...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
SIMS分析データの再現性

再現性の高い不純物量評価が可能です

半導体デバイスの製造において、ドーパント等の不純物の制御は重要な工程となります。イオン注入に着目した場合、僅かな差が品質や性能に影響を及ぼすため、正確な制御が必要となります。SIMS分析の高い再現性は、それらの開発・維持管理に最適です。...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
［Slice&View］三次元SEM観察法

FIBでの断面出し加工とSEMによる観察を細かく繰り返し、取得した像を…

FIBで断面加工を行ってSEMで観察する工程を繰り返すことで連続SEM観察結果を取得します。 SEMデータをソフトウェア上で統合することで、三次元構築像を得ることが可能です。...
メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】溶液中の金属量調査

純水やウエハ洗浄液等、様々な溶液の高感度分析が可能です

ウエハ洗浄工程で使用した洗浄液中の金属量や、装置や建屋に併設された配管内を通る純水中の金属量など、ICP-MSは溶液中の金属量を高感度に分析することができます。また、溶液の種類も純水・酸・アルカリ等、各種対応でき...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】XAFSによるGaNのイオン注入ダメージ評価

照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です

窒化ガリウムGaNは、熱伝導率が大きい点や高耐圧といった特性のため、LEDやパワーデバイスなどの材料として用いられます。その製造工程では、結晶欠陥の無い高品質なGaN結晶の作製が求められるため、イオン注入などによるダメージやその回復度合いの確認は重要な評価項目となっています。本資料ではXAFSによってGaN基板へのイオン注入...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価

金属成分と有機成分を同時に評価可能です

2）。また、付着物と正常部・汚染源のマススペクトルを比較し、付着物は汚染源の金属（Cr）成分・有機物成分と一致していることがわかりました。 TOF-SIMSにてベベル部（端面と傾斜面）の汚染の発生工程を捉える事が可能です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ウォーターマーク原因調査

TOF-SIMSを用いた最表面の汚染源の特定

プロセスで発生したかを調査することができます。ウェハや製品上に異常箇所（変色・付着）が見つかったとき、TOF-SIMS測定を行うことで、洗浄・乾燥に起因するウォーターマークか、母材の変質物か、別工程での付着物かを切り分けることができ、不良原因追求に有効です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価

高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能

半導体の製造工程において表面改質を目的としたイオン照射を行うことがあります。その中で、単結晶Si表面に不活性元素のイオンを照射することで構造の損傷が生じ、アモルファス層が形成されることが知られています。高分解能...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ウォーターマークの無機・有機同時評価

微小特定箇所の無機成分・有機成分を同時に測定

TOF-SIMSには有機物、無機物の同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できるなどの特徴がありますので、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Siウェハ上で純水を乾燥した事例を紹介します。光学顕微鏡では点状の異物や曇りがわずかに見えるだけです。TOF-SIMSで測定した結果、汚れ部では、炭化水素、PD...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST