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半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフ…
シンプルな構造により、コンパクト化と軽量化を行ったことを特長とし、 バルブ取り付け作業が容易。 スロットルバルブの構造は、マイクロメーターハンドルの目盛りにより 開度の再現が可能であり、差動ネジ機構による微小調整ができます。 【特長】 ■コンパクト化・軽量化 ■バルブ取り付け作業が容易 ■最小の面間寸法により設置スペースの問題を解決 ■固定ネジにより任意の開度で設定できる...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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