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    ロールツーロール式真空成膜装置

    試験研究に好適な小型ロールツーロール成膜装置!

    可能になります。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【主な仕様】 ■成膜方式:DCマグネトロンスパッタリング(オプションにてRFに対応) ■基板搬送:ロールツーロール(張力制御付)、速度0.2~3.0m/min、       張力15~80N ■ローラー面長:140mm ■フィルム寸法:最大幅100mm、長さ100m(フィルム厚50μm) ※詳しくはPDFを...

    メーカー・取り扱い企業: ユースエンジニアリング株式会社

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