高性能マスクアライナー　LAシリーズ

コンパクト微細露光スタンダード機。4/6/8インチ標準マスクアライナー

高性能マスクアライナー　LAシリーズは、4/6/8インチ標準マスクアライナーでコンパクトな微細露光のスタンダード機です。半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野において、微細度の高いパターン露光ができる露光装置です。専用にデザインされた双対物2視野CCD顕微鏡を搭載し、対物レンズ間隔最小18mmで小型試料のアライメントまで可能です。ワイプ装置による2視野一括モニター表示可能で、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック