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極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測!全レンジ50kPaの高耐圧…
半導体製造プロセスの空気調和システムにおける、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測でき、全レンジ50kPaの 高耐圧を実現した、シリコンキャパシタンスセンサが利用可能。 微差圧計測のIO-Link対応を開始し、空調システムの進化に対応し...
メーカー・取り扱い企業: 長野計器株式会社
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