小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

半導体分野向け比抵抗計『UPW UniCondセンサ』

PR±0.5％以下の測定精度で、水質管理の信頼性を向上。評価結果などの紹介…

『UPW UniCondセンサ』は、大手半導体メーカーとの共同開発により 堅牢な構造と高度な温度補正機能を備えた比抵抗計です。 環境温度やプロセス温度の変化による測定値の変化や 信号ノイズを防ぎ、高い温度補償比抵抗精度を実現。 半導体分野における水質の正確な把握と歩留まりの向上に貢献します。 【特長】 ■±0.5％以下の測定精度を実現 ■ノイズと水質変化による干渉を区別し、高...

メーカー・取り扱い企業： メトラー・トレド株式会社

電動アクチュエータ SKR（コンパクト ） [THK公式］

モジュール化による工数削減、装置可動部のコンパクト化を実現

されているので、あらゆる姿勢での使用が可能です。 ●高精度 直線案内部は予圧を与えても軽く動く4列サーキュラーアーク溝のため、すきまがなく高剛性の案内が得られます。また、負荷の変動による摩擦抵抗の変化は最小に抑えられ、高精度送りに追従します。 ●高剛性 U字形断面形状のアウタレールの採用により、モーメントやねじりに対しての剛性が向上しました。 ●リテーナ効果 SKRは、ボー...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

電動アクチュエータ リニアモータシリーズ RDM-mini

コアレスロッドタイプ、小型のリニアモータアクチュエータ

リップル 優れた等速性 コアレスリニアモータを採用しておりマグネットの周囲をコイルが取り巻くロッド形状のため、電気的ギャップの変動が少なく、駆動時の推力変動が極めて少ないモータです。さらに、転がり抵抗の変動が少ないボールリテーナ入りLMガイドを使用することにより、低速度リップルを実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

【技術資料】直動システムの特殊環境仕様

直動システムの特殊環境仕様

なります。耐熱性があり、加熱冷却後の寸法変化が少ない高温用LMガイドと、高温用グリースを使用します。 ●低音 低温による樹脂部品の影響、常温と低温の温度変化による防錆対策および低温でも転がり抵抗の変動が少ないグリースを使用します。 ●微動 微少ストロークにより油膜が切れ、潤滑不良となり早期摩耗の原因となります。このような場合は、油膜強度に優れ、油膜が形成しやすいグリースを選択します...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社

電動アクチュエータ KR（コンパクト） [THK公式］

モジュール化による工数削減、装置可動部のコンパクト化を実現

されているので、あらゆる姿勢での使用が可能です。 ●高精度 直線案内部は予圧を与えても軽く動く4列サーキュラーアーク溝のため、すきまがなく高剛性の案内が得られます。また、負荷の変動による摩擦抵抗の変化は最小に抑えられ、高精度送りに追従します。 ●高剛性 U字形断面形状のアウタレールの採用により、モーメントやねじりに対しての剛性が向上しました。...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社