塔内部品　高性能型『MCディストリビューター』

PRドリップポイント数（1000～2000個／m2）を実現！【実際の塔内映…

『MCディストリビューター』は、少量から大量の広範囲な液量変化に対して 分配効果を維持するために開発されたノズルオーバーフロー型の塔内部品です。 上方にノズルを有し、下方に液体分散板を備えており、ノズルが流出した液体は パイプ上部で拡がり、さらに液体分散板により拡散されて充填物の上に 分配されます。 従来の下方流出ノズル方式による分配器に比較すると、 数倍の分配効果を発揮します...

メーカー・取り扱い企業： マツイマシン株式会社 大阪本社

小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)

試作・開発・小ロット生産向け　NSG(SiO2)/BSG/PSG/BP…

D501は、少量生産/テストや不定形基板へのシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、バッチ式(複数枚同時処理)の常圧CVD装置(APCVD装置)です。 【特徴】 　・異形状・サイズ基板の同時処理 　・高い成膜速度 　・シンプルメンテナンス 　・省フットプリント 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行