FE-EPMAによる受託サービス｜JTL

電界放出型電子プローブマイクロアナライザ（FE-EPMA）による微少領…

FE-EPMA（電界放出型電子プローブマイクロアナライザ）を使用して、SEM像の撮影及びWDX（波長分散型X線分析装置）による元素分析を行います。 EDXによる元素分析よりも定量精度が良く（±数100ppm～数1,000ppm）、汎用型のEPMAよりも分析の空間分解能が良い（サブミクロンオーダー）ことが特徴です。 厚みが数100nmの薄膜の断面分析や、接合部分の微量元素の拡散状態の分析などにご...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社