カスタマイズ静電チャック

把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。

・表面状態：表面形状（エンボス/フラット）、面粗さ 他 <ステージ基材> ・材質：樹脂、セラミック、アルミニウム合金、ステンレス合金 他 ・接合方法：メタライズ、真空ロウ付け、ビーム溶接、拡散接合 他 ・表面処理：アルマイト、溶射、メッキ、スパッタ 他 ■検査 ・機械的要素：二次元測定、三次元測定、Heリーク検査、耐水圧検査 他 ・熱的要素：熱電対温度測定、サーモグラフィ 他 ・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー